超低溫制冷劑R14。R-14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等，中文名稱四氟化碳、全氟化碳，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14屬于fc類物質(zhì)——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應(yīng)；目前對于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒有限制。
        R-14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、醫(yī)用制冷等），R14同時(shí)也是超低溫配合 冷媒的重要組分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用

理化性質(zhì):

      （Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ），亦稱四氟化碳、全氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。

      相對分子量：88.00。

      在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。

      沸點(diǎn)：-128℃，熔點(diǎn)：-183.6℃。

      液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數(shù)（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900攝氏度時(shí)，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時(shí)， 會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物，危險(xiǎn)性類別為第2.2類不燃?xì)怏w。